氬離子拋光儀的產品參數

點擊次數：2606 更新時間：2018-01-09

　　氬離子拋光儀通過離子槍激發獲得的離子束，以垂直於樣品側麵縱向轟擊樣品，可獲得高質量無應力“切割”截麵，便於SEM觀察。

　　該處理方法適用於多層膜材料、軟硬複合材料等高難度製備樣品，並且操作簡單，可有效避免塗抹效應，不需要大量摸索條件即可獲得理想的截麵，使樣品暴露內部細微結構信息。

　　這一技術幾乎是*一個適用於任何材質樣品，獲得高質量切割截麵的解決方法。使用該技術對樣品進行處理，樣品受到形變或損傷的可能性zui低，可暴露出樣品內部真實的結構信息。

　　在技術上超越了傳統的離子束拋光切割設備。它使用三離子束，並可裝配冷凍樣品台和三樣品台，可以高速率離子束轟擊樣品，得到寬且深的切割區域，獲得一個高質量的平整的切割截麵，幾乎適用於任何材料，整個樣品處理過程快速簡便。

　　河南氬離子拋光儀技術參數：

　　可容納zui大樣品尺寸50×50×10mm，可獲得有效切割截麵麵積＞4mm×1mm

　　三把離子槍，離子束能量1keV-10keV，切割速率150m/h (Si@10kV, 50m切割高度)

　　離子束處理過程中樣品位置固定，無需偏轉運動，無投影效應，熱傳導性好

　　可進行離子束切割或刻蝕，可選擇任意離子槍

　　真空泵解耦合設計，無震動傳導

　　觸摸屏操作麵板，直觀、簡易操作，可編程可軟件升級

　　可選配：液氮製冷冷台-150°至 30°，25L液氮罐及自動泵，具有自動快速製冷功能

　　可選配：三樣品台，可一次連續處理三個樣品