徠卡離子束切割儀主要技術參數

點擊次數：1022 更新時間：2022-06-10

離子束切割儀用於樣品的截麵製備及平麵拋光，用於掃描電子顯微鏡 (SEM)、微觀結構分析 (EDS、WDS、Auger、EBSD) 和 AFM 科研工作。

Leica EM TIC 3X 通過離子槍激發獲得的離子束，以垂直於樣品側麵縱向轟擊樣品，可獲得高質量無應力“切割"截麵，便於SEM觀察。該處理方法適用於多層膜材料、軟硬複合材料等高難度製備樣品，並且操作簡單，可有效避免塗抹效應，不需要大量摸索條件即可獲得理想的截麵，使樣品暴露內部細微結構信息。

徠卡離子束切割儀主要技術參數：

1.可容納zui大樣品尺寸50×50×10mm，可獲得有效切割截麵麵積＞4mm×1mm

2.三把離子槍，離子束能量1keV-10keV，切割速率300μm/h (Si@10kV, 3.5mA, 100μm切割高度)

3.離子束處理過程中樣品位置固定，無需偏轉運動，無投影效應，熱傳導性好

4.可進行離子束切割或刻蝕，可選擇任意離子槍

5.真空泵解耦合設計，無震動傳導

6.觸摸屏操作麵板，直觀、簡易操作，可編程可軟件升級

7.可選配：液氮製冷冷台+30至 -160℃，25L液氮罐及自動泵，具有自動快速製冷功能

8.可選配：三樣品台，可一次連續處理三個樣品