我國成功研發激光幹涉測量儀器

　　【化工儀(yi) 器網 行業(ye) 動態】激光幹涉測量指以激光為(wei) 光源，以激光波長或激光頻率為(wei) 基準，利用光的幹涉原理進行精密測量的方法，具有非接觸測量、靈敏度高和度高的優(you) 點。激光幹涉測量儀(yi) 器一般用於(yu) 位移、長度、角度、麵基、介質折射率的變化等方麵的測量，常用的幹涉儀(yi) 有邁克爾遜幹涉儀(yi) 、馬赫-澤德幹涉儀(yi) 、菲索幹涉儀(yi) 、泰曼-格林幹涉儀(yi) 等 　　激光幹涉測量是實現超精密測控和微納尺度測量的有效手段之一，在許多領域都有極其重要的作用。近日，在國家重大科技專(zhuan) 項“極大規模集成電路製造裝備及成套工藝”等項目支持下，清華大學長聘教授、精密儀(yi) 器係學術委員會(hui) 主任李岩研究團隊完成的“高測速多軸高分辨率激光幹涉測量技術與(yu) 儀(yi) 器”項目，突破一係列關(guan) 鍵技術瓶頸，形成了測量新方法、係統及儀(yi) 器。 　　據李主任介紹，項目實現了從(cong) 幹涉儀(yi) 組件、信號探測解調到多自由度探測方案設計的全鏈條自研開發的高測速、多軸大量程、高分辨率激光幹涉測量係統。目前，該項目團隊所研發的光刻機用雙頻激光幹涉儀(yi) 係統已經應用到了我國自研光刻機工件台樣機研發過程中，累計應用50餘(yu) 台套。該研究成果滿足了光刻機雙工件台樣機的精密測量需求，減輕了對國外幹涉儀(yi) 的依賴，降低了其產(chan) 品對我國出口限製所造成的研發風險，對保障我國光刻機雙工件台研發的順利實施起到了積極作用。 　　此外，項目開發的亞(ya) 納米分辨率可溯源外差幹涉儀(yi) ，也應用到了激光多維測量係統研究與(yu) 開發的比對檢定研究中。亞(ya) 納米分辨率可溯源外差幹涉儀(yi) 能夠找出了激光多維測量係統非線性誤差原因，並用專(zhuan) 門的電路加以校正，提高了相關(guan) 單位激光多維測量係統的性能。開發團隊所提出的可溯源幹涉測量新方法，為(wei) 摩爾單位采用阿伏伽德羅常數重新定義(yi) 作出了貢獻。 　　值得一提的還有，在過去，我國沒有掌握研發激光幹涉測量儀(yi) 器的核心技術，但該項目的成功一舉(ju) 打破了外國對我國激光幹涉測量儀(yi) 器的限製和壟斷，豐(feng) 富了我國激光幹涉測量理論與(yu) 技術，這意味著往後我國裝備和儀(yi) 器的研發將擁有性能穩定且不受製於(yu) 外國的測量及溯源能力。總而言之，該研究成果具有非常重要的技術、經濟和社會(hui) 效益。 　　激光幹涉測量技術是保障可溯源納米測量的重要途徑，也是推動我國邁向計量強國、製造強國的關(guan) 鍵計量測試技術。相信隨著研發團隊的繼續深入研究，我國的激光幹涉測量技術還會(hui) 不斷進步，為(wei) 我國帶來更多的效益。